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蝶形腔式MPCVD更正公告

发布日期:2026-02-16 12:04:30 本文标签:MPCVD 蝶形 更正 

一、项目基本情况

采购项目编号:SZDL2025000088

采购项目名称:蝶形腔式MPCVD

首次公告日期:2025年02月10日

二、更正信息

1、更正事项:“招标文件”的第二章招标项目需求:

五、具体技术要求

序号

货物名称

配置和技术规格要求

1

微波等离子体化学气相沉积系统主机

在Si衬底上生长的多晶金刚石拉曼特征峰半高宽≤6cm-1,投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

7

反应腔系统

系统漏率:<5.0x10-10Pa・m3 /s(通过氦质谱检漏仪检测),投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

10

技术服务

▲提供Ø≥ 3 inch,厚度≥1000mm的金刚石生长技术服务

六、商务要求

序号

目录

招标商务需求

(三)其他商务要求

3

关于验收

★3.3当满足以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告:

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

d、货物完成Ø≥ 3 inch,厚度≥1000mm达标样品的制备

更正为:

五、具体技术要求

序号

货物名称

配置和技术规格要求

1

微波等离子体化学气相沉积系统主机

在Si衬底上生长的多晶金刚石拉曼特征峰半高宽≤6cm-1投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

7

反应腔系统

系统漏率:<5.0x10-10Pa・m3/s(通过氦质谱检漏仪检测),投标时提供包含以上技术参数的产品检测报告、说明书、产品彩页中任意一种作为证明材料

10

技术服务

▲提供Ø≥ 3 inch,厚度≥1000μm的金刚石生长技术服务

六、商务要求

序号

目录

招标商务需求

(三)其他商务要求

3

关于验收

★3.3当满足以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告:

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

d、货物完成Ø≥ 3 inch,厚度≥1000μm达标样品的制备

更正日期:2025年02月17日

三、其他补充事宜

采购文件中如有涉及上述内容的作相应调整,若本公告与原采购文件内容有不同之处,应以本公告为准。投标人有义务在采购活动期间浏览相关网站,在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。

四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

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