一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：ZF2025-06-1085
原公告的采购项目名称：中国科学技术大学湿法工艺台
首次公告日期：2025年08月04日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
我公司现对中国科学技术大学湿法工艺台招标文件做出如下更正。此次更正为招标文件的组成部分，具有同等效力。更正内容与招标文件不同之处，按本次更正内容执行。
项目更正内容如下：
1.现对采购需求中“3.2.5后道-光刻工艺台”技术参数进行调整，调整后的技术参数如下：
3.2.5后道-光刻工艺台 | |
1.主要功能 | 涂胶、显影，需适配4英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。 |
2.★电力 | 额定电压380 V，额定功率≤2 kW； 配备插座，插座额定电压220 V，插座总额定功率≤2 kW |
3.★尺寸 | 内宽：>2250 mm； 加柜子外宽<3000 mm； 外深：1300-1500 mm；（所有工艺台的外深应统一） 内深：1200-1400 mm； 外高：能够运入2400 mm高的通道 |
4.可稳定维持温度范围 | 热板可维持室温-300℃ |
5.★匀胶机、显影机、热板 | 3*旋涂匀胶机、1*喷淋匀胶机、4*热板、1*HMDS箱，留出显影空间和清洗空间 |
6.配件柜配置 | 须配置一个尺寸为高2m-2.3m，宽40cm-60cm，深50cm-70cm的配件柜。 |
7.计时器配置 | 须配置一个精确到秒的计时器 |
8.★废液排放（原液废料） | 有机排、碱排到厂务；所有厂务排放均向下（到地面） |
9.★废液收集口 | 有机（含TMAH，连到有机排）、KOH（连到碱排） |
10.★废水（废液+大量水）排放 注：和废液不同 | 一般排、有机排、碱排到厂务（一般排水：不含有害化学品的废水30 CMH，其余2.4 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
11.★废气排放 | 有机排、碱排、热排到厂务（每种800 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
12.台面材质 | 实心，防有机（不锈钢） |
13.空白台面 | 需要 |
14.★厂务DI、N2、市政水、工艺真空需求 | DI：可适应0.3barg，可适应最大流量70L/min，可适应平均流量0-35L/min； N2：可适应最大流量800SLPM； 所有资源接口均向下（到地面） |
更正日期：2025年08月08日
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
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