关于微纳加工中心工艺设备安装配套系统的更正公告

序号

货物名称

配置和技术规格要求

18

DRIE安装配套系统

18.16.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、SiF4管道平面布置图。

19

RIE安装配套系统

19.5.▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图。

20

ICP介质安装配套系统

20.5.▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图。

21

ICP金属安装配套系统

21.18.▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图。

22

ICPIII-V安装配套系统

22.5.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH4管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、H2管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图、SiCl4管道平面布置图。

25

ICPCVD 安装配套系统

25.5.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、CH4管道平面布置图、CF4管道平面布置图、He管道平面布置图、H2管道平面布置图。

26

PECVD 安装配套系统

26.5▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、N2O管道平面布置图、CF4管道平面布置图。

71

气体管道安装测试要求

71.1★投标人在投标时，须提供加盖公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下：

1)压力测试：强度试验压力为设计压力的1.15倍，持续30分钟；气密性试验压力为设计压力的1.05倍，24小时内压降≤1%。

2)氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥1×10^-10mbar.L/s；漏率≤1×10^-9mbar·L/s。

3)颗粒测试：颗粒数：≥0.1~0.3μm的颗粒≤35颗粒/m³，连续三次达标。‌

4)水分测试：测试气源水分<1ppbv；水分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。

5)氧分测试：测试气源氧分<1ppbv；氧分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。

序号

货物名称

配置和技术规格要求

18

DRIE安装配套系统

18.16.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C₄F₈管道平面布置图、CHF₃管道平面布置图、He管道平面布置图、SF₆管道平面布置图、SiF₄管道平面布置图。

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RIE安装配套系统

▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF₄管道平面布置图、CHF₃管道平面布置图、He管道平面布置图、SF₆管道平面布置图。

20

ICP介质安装配套系统

▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF₄管道平面布置图、C₄F₈管道平面布置图、CHF₃管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF₆管道平面布置图、Cl₂管道平面布置图。

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ICP金属安装配套系统

▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF₄管道平面布置图、CHF₃管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF₆管道平面布置图、Cl₂管道平面布置图、BCl₃管道平面布置图。

22

ICPIII-V安装配套系统

22.5.▲投标人在投标时提供ICPIII-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH₄管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF₆管道平面布置图、H₂管道平面布置图、Cl₂管道平面布置图、BCl₃管道平面布置图、SiCl₄管道平面布置图。

25

ICPCVD 安装配套系统

25.5.▲投标人在投标时提供ICPCVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH₃管道平面布置图、SiH₄管道平面布置图、CH₄管道平面布置图、CF₄管道平面布置图、He管道平面布置图、H₂管道平面布置图。

26

PECVD 安装配套系统

26.5▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH₃管道平面布置图、SiH₄管道平面布置图、N₂O管道平面布置图、CF₄管道平面布置图。

71

气体管道安装测试要求

71.1★投标人在投标时，须提供加盖公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下：

6)压力测试：强度试验压力为设计压力的1.15倍，持续30分钟；气密性试验压力为设计压力的1.05倍，24小时内压降≤1%。

7)氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥1×10^-10mbar.L/s；漏率≤1×10^-9mbar·L/s。

8)颗粒测试：颗粒数：0.1~0.3μm的颗粒≤35颗/m³，连续三次达标。‌

9)水分测试：测试气源水分<1ppbv；水分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。

10)氧分测试：测试气源氧分<1ppbv；氧分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。