空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）更正公告

更正公告

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号 ：SDGP370000000202502006901

原公告的采购项目名称：空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）

首次公告日期：2025年09月08日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

1包项目需求和技术方案-货物明细:4；8英寸光刻机，原内容：1.光刻分辨率：≤ 0.8 ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ 1 ?m时、等间距图形Line/Space=1:1，200mm范围内5点）；≤3.0 ?m（20?m间隙，光刻胶厚度≤ 1 ?m时，等间距图形Line/Space=1:1,200mm范围内5点）；->变更为：1.光刻分辨率： ≤ 1 ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ 1 ?m 时、等间距图形 Line/Space=1:1，200mm 范围内 5 点）； ≤3.0 ?m（20?m 间隙，光刻胶厚度≤ 1 ?m 时，等间距图形Line/Space=1:1,200mm 范围内 5 点）；。

1包项目需求和技术方案-货物明细:4；8英寸光刻机，原内容：6.曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞5000小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ 55mW/cm^2 @365nm；≥ 140mW/cm^2 @UV全波段，光强均匀度：≤ ±2.5％@8英寸；->变更为：6.曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞5000 小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ 35mw/cm^2 @365nm；≥ 90mw/cm^2 @UV全波段,光强均匀度：≤ ±2.5％@8 英寸；。

更正日期：2025年09月10日

三、其他补充事宜

无

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。